Model470是*先進(jìn)的溶解臭氧測(cè)量分析儀，為半導(dǎo)體濕法處理和許多其他工業(yè)過(guò)程設(shè)計(jì)。它能夠提供去離子水或硫酸中濃度高達(dá)150mg/L的溶解臭氧測(cè)量。470已完成“預(yù)備清潔”，能夠滿(mǎn)足高純度半導(dǎo)體過(guò)程的需求，并且可簡(jiǎn)單的直接拼接進(jìn)任何濕法處理的環(huán)流回路中，*高支持150 SLPM的流量。

   470型傳感器使用雙路取樣傳感技術(shù)，達(dá)到了****的性能，且擺脫了對(duì)參比液體測(cè)量的需求。 通常的安裝僅僅包括470傳感器和特氟龍7包裹的內(nèi)部連接電纜。470傳感器能夠通過(guò)模擬或數(shù)字信號(hào)向濕法處理過(guò)程控制臺(tái)遠(yuǎn)程報(bào)告測(cè)量的濃度。

應(yīng)用范圍：

1、液態(tài)溶解臭氧

2、半導(dǎo)體濕法清洗系統(tǒng)

3、超純水系統(tǒng)

4、制藥業(yè)

5、水處理

6、其他工業(yè)過(guò)程

技術(shù)指標(biāo)：

測(cè)量原理： 紫外吸收法，雙路取樣傳感技術(shù)
紫外光源：低壓汞燈
測(cè)量單位：ppmw, mg/L
測(cè)量范圍：0-150 mg/L (150 ppmw)
精 度： 0.5mg/L 或 1%讀數(shù) (以較大值為準(zhǔn)）
水流量： 高達(dá)150 SLPM
采樣端口：1”, 3/4”, 3/8” Flaretek® 連接
*大壓強(qiáng)：55 PSI
接觸材料： 特氟龍®, 藍(lán)寶石, 與半導(dǎo)體流程相容
外 殼： 聚四氟乙烯特氟隆®
尺 寸： 垂直固定(144 x 171 x 82 mm)
電 纜： 特氟龍®外層
電 源： +15 VDC 
模擬輸出：4-20mA或0-5VDC，出廠(chǎng)時(shí)選擇
數(shù)字輸出：I/O RS-232 或 RS485，出廠(chǎng)時(shí)選擇
遠(yuǎn)程校零：通過(guò)DB15進(jìn)行遠(yuǎn)程零點(diǎn)校準(zhǔn)
認(rèn) 證： CE認(rèn)證
維 護(hù)： 紫外燈每24個(gè)月替換一次，無(wú)其他預(yù)定維護(hù)